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 （5）PID参数自整定[4]界面。根据工艺的温度要求，选择整定温度，系统开始对炉体加温并开始自整定过程，实现PID参数的整定。 　　3.2 模糊自整定PID控制算法设计[5][6] 　　PLC作为系统的核心，完成各种信息的检测、处理，控制算法的实现，控制量的输出等。系统实现控制包括：对扩散炉九点温度的工艺控制;对气体流量工艺过程的控制;对扩散炉生产工艺的自动化过程控制。其中对温度的控制是至关重要的，控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。本系统采用模糊自整定PID控制算法实现对温度的控制。 　　模糊推理控制算法程序的流程图如图2所示。计算时有以下几个步骤： 　　（1）确定误差和误差变化率以及控制量的论域，将和的实际变化范围分为7档（考虑本控制系统要求控制精度较高）,使每一档与其论域的某个元素相对应。这样，系统的每个实测量就可以被量化为论域中的某个元素。 　　（2）本系统通过离线计算出模糊控制表，实际运行时，PLC主程序中断执行查表子程序就可以得出控制量。 图2 模糊推理子程序 　　在现场的控制中，模糊自整定PID控制器的鲁棒性强，参数自整定易于实现，控制的精度较高。比单纯的PID控制器具有更快的动态响应特性，其控温效果较好。 　　3.3 Modbus通信程序设计 　　系统采用Modbus现场总线实现PLC主站与温度检测模块、气体质量流量计等各从站之间的通信。FERAG 567.834V007 SDB/KX008.5 567.836.012